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國(guó)儀量子DB550聚焦離子束電子束雙束顯微鏡

簡(jiǎn)要描述:國(guó)儀量子DB550聚焦離子束電子束雙束顯微鏡是一款優(yōu)雅全能的納米分析和制樣工具,低電壓高分辨的電子鏡筒,保證納米分析能力?!俺杏?離子鏡筒提供了高穩(wěn)定、高質(zhì)量的離子束流,保證納米加工能力。集成式的納米機(jī)械手、氣體注入器,一體化設(shè)計(jì)的控制軟件,為您打造全能納米分析和加工中心。

  • 產(chǎn)品型號(hào):
  • 廠商性質(zhì):代理商
  • 更新時(shí)間:2025-06-06
  • 訪  問  量:555

詳細(xì)介紹

品牌國(guó)儀量子儀器分類FIB
價(jià)格區(qū)間500萬(wàn)-700萬(wàn)產(chǎn)地國(guó)產(chǎn)

國(guó)儀量子DB550聚焦離子束電子束雙束顯微鏡是一款優(yōu)雅全能的納米分析和制樣工具,低電壓高分辨的電子鏡筒,保證納米分析能力?!俺杏?離子鏡筒提供了高穩(wěn)定、高質(zhì)量的離子束流,保證納米加工能力。集成式的納米機(jī)械手、氣體注入器,一體化設(shè)計(jì)的控制軟件,為您打造全能納米分析和加工中心。

國(guó)儀量子DB550聚焦離子束電子束雙束顯微鏡

國(guó)儀量子DB550聚焦離子束電子束雙束顯微鏡

產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)

1、高壓隧道技術(shù)和無(wú)漏磁物鏡的電子鏡筒,高分辨率成像,兼容磁性樣品

2、“承影"離子鏡筒,高穩(wěn)定、高質(zhì)量的離子束流,用于高質(zhì)量納米加工和TEM制樣

3、樣品倉(cāng)內(nèi)壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)的機(jī)械手,集成式控制方式,操作精準(zhǔn)到位

4、自主可控,擴(kuò)展性強(qiáng),集成化設(shè)計(jì)的離子源更換時(shí)間快,良好的售后服務(wù)

產(chǎn)品參數(shù)

電子束系統(tǒng)電子槍類型高亮度肖特基場(chǎng)發(fā)射電子槍
分辨率0.9 nm@15 kV
加速電壓20 V ~ 30 kV
離子束系統(tǒng)離子源類型液態(tài)鎵離子源
分辨率3 nm@30 kV
加速電壓500 V ~ 30 kV
樣品室真空系統(tǒng)全自動(dòng)控制,無(wú)油真空系統(tǒng)
攝像頭三攝像頭
(光學(xué)導(dǎo)航+樣品倉(cāng)內(nèi)監(jiān)控x2)
樣品臺(tái)類型五軸機(jī)械優(yōu)中心樣品臺(tái)
樣品臺(tái)行程X=110 mm,Y=110 mm,Z=65 mm
T: -10°~+70°,R: 360°
探測(cè)器和擴(kuò)展標(biāo)配鏡筒內(nèi)電子探測(cè)器(Inlens)
旁側(cè)二次電子探測(cè)器(ETD)
選配插入式背散射電子探測(cè)器(BSED)
插入式掃描透射探測(cè)器(STEM)
能譜儀(EDS)
背散射衍射(EBSD)
納米機(jī)械手
氣體注入器
等離子清洗
樣品交換倉(cāng)
軌跡球&旋鈕控制板
軟件語(yǔ)言中文
操作系統(tǒng)Windows
導(dǎo)航光學(xué)導(dǎo)航、手勢(shì)快捷導(dǎo)航
自動(dòng)功能自動(dòng)亮度對(duì)比度、自動(dòng)聚焦、自動(dòng)像散

技術(shù)介紹

"承影"離子鏡筒

技術(shù)特點(diǎn)

分辨率:3 nm@30 kV

探針電流:1 pA~65 nA

加速電壓范圍:500 V~30 kV

使用壽命:≥1000小時(shí)

長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定性:72小時(shí)不間斷工作

納米機(jī)械手

技術(shù)特點(diǎn)

倉(cāng)內(nèi)安裝方式

全壓電驅(qū)動(dòng)

編碼精度≤10nm

最大移動(dòng)速度2mm/s

集成式控制方式

離子束-電子束協(xié)同

氣體注入器

單氣體注入

多種氣源可選

伸縮距離≥35 mm

重復(fù)定位精度≤10 um

加熱溫度控制精度≤0.1℃

加熱溫度范圍:室溫~90℃

集成式控制方式

應(yīng)用案例

國(guó)儀量子DB550聚焦離子束電子束雙束顯微鏡


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